3インチウェハー用クライオスタットシステム

・低温顕微分光用途
・2重管式トランスファーチューブ採用
・3インチウェハー対応サンプルホルダー
・LHeフロー型

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主な仕様

到達温度(保証) 15K以下
到達温度(目標) 10K以下
温度範囲 到達温度~300K
温度制御精度 ±0.1K(設定温度に対して)
Working Distance 10mm
光学窓有効径 φ77mm
サンプルホルダー φ3インチ
システム構成 3インチウェハー低温顕微分光用クライオスタット
(・顕微分光用クライオスタット本体
・2重管式液体ヘリウム移送用トランスファーチューブ)
ガスハンドリングシステム
温度制御用センサー(シリコンダイオード)

※システムには高真空排気装置を含んでおりません。オプションで選択頂くか別途ご用意下さい。
仕様は予告なく変更する場合がございます。

お取り扱いメーカーの機器と合わせてシステムでのご提案も可能です。

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