高真空ターボ排気装置
Model:SB-HV70/100-VG

・1台で様々な用途で使用可能
・ヘリウムガス・窒素ガス等のガス置換
・ロータリーポンプの粗挽き
・高真空ターボ排気
・真空計付属

製品カタログPDF

主な仕様

ロータリーポンプ 実効排気速度(L/min):100(50Hz)、120(60Hz)
到達圧力(Pa):6.7×10-2
ターボ分子ポンプ 実効排気速度(L/sec):70(CFフランジ)
到達圧力(Pa):<1.0×10-7
一体型連続真空計 圧力測定範囲:1.0×10-7Pa~大気圧※大気から超高真空までを連続して自動計測
システム構成 ロータリーポンプ
オイルミストトラップ
ターボ分子ポンプ(空冷式)
一体型連続真空計
コントロールボックス
アルミ架台(キャスター付き)

仕様は予告なく変更する場合がございます。

お取り扱いメーカーの機器と合わせてシステムでのご提案も可能です。

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