真空＜低温＞プローバーシステム
Model:SB-MCPSシリーズ
・豊富なオプションで様々な要求に対応します。
・極低温から高温までの温度を選択可能（オプション）
・徹底的にコストを追求したフルシステムのプローバー
プローバーシステムは標準システムの他に
低温・RF・磁場を合わせたスピントロニクス向けのプローバーや、
測定スペースに合わせた省スペース・ミニ型のプローバー、
電磁石や赤外線カメラを搭載したプローバーなど製作実績もございます。
測定方法、ご予算に合わせた特注品も対応致します。
標準システム仕様（室温・真空仕様）
| 温度範囲 | 室温 |
| プローブ数 | 2本 |
| コネクター | BNCコネクター 2個 |
| 移動量 | X軸 ±25.0mm（チャンバー中心方向） |
| Y軸 ±15.0mm（水平方向） | |
| Z軸 ±12.5mm（垂直方向） | |
| サンプルサイズ | □20mm |
| 架台寸法 | W550mm×D550mm |
| システム構成 | システムチャンバー本体 |
| マニピュレータ 2式 | |
| CCDカメラ＆モノスコープ | |
| 液晶モニター | |
| アルミ製スタンド |
※システムには高真空排気装置を含んでおりません。オプションで選択頂くか別途ご用意下さい。
仕様は予告なく変更になる場合がございます。
オプション・アクセサリ
| 1 | 各種低温・高温オプション |
| 1)液体窒素冷却ユニット（80K～500K） | |
| 2)液体ヘリウムフロー型冷却ユニット（5K台～300K） | |
| 3)高温ユニット（室温～600K） | |
| 4)液体窒素冷却＋高温ユニット（80K～600K） | |
| 5)スターリング冷凍機ユニット（50K台～室温） | |
| 2 | 温調機ユニット |
| 3 | マニピュレータ（アーム）追加 ※最大2式追加可能 |
| 4 | ロードロック機構 |
| 5 | ロードロック機構＋サンプル搬送BOX |
| 6 | バイアス測定ユニット |
| 7 | 高周波測定ユニット |
| 8 | 低ノイズオプション（±1pA以下） |
| 9 | 側面モニターユニット（CCD＆モニター付き） |
| 10 | 高真空ターボ排気装置（真空計付付き） |
| 11 | コンベクション真空計（大気～10-4Torr） |
| 12 | タングステンプローブ針（1組10本） |
| 13 | 金メッキBeCuプローブ針（1組10本） |
| 14 | ソフトコンタクトダンパー（着針時の針圧低減） |
| その他 オプション、アクセサリはお問い合わせください。 | |
オプション・アクセサリは予告なく変更になる場合がございます。
お取り扱いメーカーの機器と合わせてシステムでのご提案も可能です。
装置外観1 
装置外観2
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