真空<低温>プローバーシステム
Model:SB-MCPSシリーズ

・豊富なオプションで様々な要求に対応します。
・極低温から高温までの温度を選択可能(オプション)
・徹底的にコストを追求したフルシステムのプローバー

製品カタログPDF

標準システム仕様(室温・真空仕様)

温度範囲 室温
プローブ数 2本
コネクター BNCコネクター 2個
移動量   X軸 ±25.0mm(チャンバー中心方向)
Y軸 ±15.0mm(水平方向)
Z軸 ±12.5mm(垂直方向)
サンプルサイズ □20mm
架台寸法 W550mm×D550mm
システム構成     システムチャンバー本体
マニピュレータ 2式
CCDカメラ&モノスコープ
液晶モニター
アルミ製スタンド

※システムには高真空排気装置を含んでおりません。オプションで選択頂くか別途ご用意下さい。
仕様は予告なく変更になる場合がございます。

オプション・アクセサリ

1 各種低温・高温オプション
1)液体窒素冷却ユニット(80K~500K)
2)液体ヘリウムフロー型冷却ユニット(5K台~300K)
3)高温ユニット(室温~600K)
4)液体窒素冷却+高温ユニット(80K~600K)
5)スターリング冷凍機ユニット(50K台~室温)
温調機ユニット
3 マニピュレータ(アーム)追加 ※最大2式追加可能
4 ロードロック機構
5 ロードロック機構+サンプル搬送BOX
6 バイアス測定ユニット
7 高周波測定ユニット
8 低ノイズオプション(±1pA以下)
9 側面モニターユニット(CCD&モニター付き)
10 高真空ターボ排気装置(真空計付付き)
11 コンベクション真空計(大気~10-4Torr)
12 タングステンプローブ針(1組10本)
13 金メッキBeCuプローブ針(1組10本)
14 ソフトコンタクトダンパー(着針時の針圧低減)
その他 オプション、アクセサリはお問い合わせください。

オプション・アクセサリは予告なく変更になる場合がございます。

お取り扱いメーカーの機器と合わせてシステムでのご提案も可能です。

計測器 光学機器 理化学機器 コンピューター・他

 

装置参考写真

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